Изобретения Сибирского отделения РАН за 1998 год - Реферативный указатель
Rambler's Top100
 
1997    1998    1999    2000    2001   

Изобретения Сибирского отделения РАН

Реферативный указатель
патентов за 1998 год

 
258.
(11) 2119730
(46) 27.09.98
(51) 6 Н 05 Н 3/02, Н 01 J 27/02, С 23 С 14/35
(21) 96123506/25
(22) 16.12.96
(71) Институт ядерной физики СО РАН
(72) Волосов В. И., Чуркин И. Н., Стешов А Г.
(73) Институт ядерной физики СО РАН
(54) ИСТОЧНИК МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ АТОМАРНЫХ ПОТОКОВ
(57) Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок В качестве источника многокомпонентных атомарных потоков, состоящих из потока тяжелых атомов с энергией распыления, и потока быстрых атомов с энергией, определяемой напряжением на разряде, применяется ловушка с вращающейся плазмой. Изобретение позволяет повысить мощность источника многокомпонентных потоков частиц, упростить его конструкцию, снизить затраты на изготовление и эксплуатацию устройства. 2 ил. 
[ Начало | О библиотеке | Академгородок | Новости | Выставки | Ресурсы | Партнеры | ИнфоЛоция | Поиск | English pages ]
Направляйте пожелания и письма: www@prometeus.nsc.ru
© 1997-2006 Отделение ГПНТБ СО РАН (Новосибирск)
Статистика посещений сервера
Rambler's Top100

Посещение "Указателя изобретений 1998 г." N 3537 c 18.11.2002